全自动探针台/真空探针台/晶圆测试探针台/12英寸探针台/SemiProbe

品牌：SemiProbe

型号：PS4L FA-x

描述：SemiProbe全自动探针台采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性模块化结构设计，提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金和费用。与传统的探针台相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座，卡盘支架，卡盘，显微镜装置，显微镜移动，光学组件，操纵器等都是可以更换的，使得 PS4L 系列探针台以其极大的灵活性和性价比满足了多种应用需求，为客户提供了非常经济适用以及完美的解决方案。更重要的是，PS4L的模块化结构设计，可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级。可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级，由手动探针台升级为半自动探针台，半自动探针台升级为全自动探针台，或者6”升级为8”，8”升级为12”，增加密闭测试仓，增加高低温等，以满足用户新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸，自动化的程度或者测试要求发生改变时，PS4L 也无需重新更换新的平台，便可用最短的时效和最少的费用完成测试。

PILOT控制软件：

SemiProb的全自动探针系统使用 SemiProbe 的 PILOT 控制软件包进行操作，软件和 PS4L 硬件一样采用的是SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性结构化设计。PILOT 软件包是一款模块化最明显、最直观且易操作的软件。在不改变核心控制软件的前提上，客户可增添控制模块来增加额外功能和附件。其一般的功能比如2点校准，功能强大且易操作——甚至不经常操作设备的用户也非常容易上手。

产品特点：

l 同一系统可满足多种应用需求—— DC，高频率，OPTO，MEMS 以及更多

l 有三种操作模式可选：全自动(不间断工作)、半自动和手动

l 可处理不同尺寸的晶圆

l 可测试芯片、晶圆

l 可处理薄的和弯曲的晶圆或者硅和III-V 族化合物

l 灵活的 PILOT 控制软件- 自动晶圆和芯片对准，Z 高度探测和分析，晶圆形貌，界面和更多。

l 可提供多种配件-热夹盘，光学部件，CCTV 系统，条形码阅读器，OCR，操纵器，探针卡和更多。

l 模块化结构设计，具有无与伦比的灵活性

l 系统可升级：6”升级为8”，8”升级为12”等

应用范围：

l 光伏工业

l 材料科学

l 光电行业

l 失效分析

l 通信器件测试

l 微机电技术

l 高频/微波测试

l 半导体技术

技术参数（型号：PS4L FA-6）：

产品尺寸：900 mm x 1625 mm x 2438 mm

重量：240Kg

输入电压：110/220V 50/60Hz,20A

真空：23 Hg or -0.8 bar

卡盘X-Y轴轨道：NEMA 17步进电机，光学线性编码器

行程:155*155mm（可升级）

 速度：50mm/s

平面性:±8μm

分辨率:0.1μm

精度：±3μm

重复性：±0.5μm

卡盘Z轴轨道：行程：15mm

分辨率：0.5μm

 重复性：±1.5μm                

θ移动：行程：±4°（可定制）

分辨率:0.00001°

卡盘类型：真空或机械夹紧，圆形或方形，三轴，高频，高压/高电流，高低温等

压盘：铝和不锈钢顶部，可拆卸前楔

360度机械手放置

压盘位移：可选择固定和线性调节

          线性调节范围：40mm粗调，200um微调

可选配件：包括探针卡，操纵器，操纵臂和基座， 探针，激光，光学部件，CCTV 系统，隔振台，暗箱。

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